1. 準(zhǔn)確測(cè)量大口徑的光學(xué)元件的透射波前、反射波前。
2. 測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性能媲美美國(guó) Zygo 和 4D 干涉儀。
3. 根據(jù)客戶要求定制開發(fā)。