機(jī)器人研拋一體機(jī)
基于工業(yè)機(jī)器人的小工具加工機(jī)床，利用小工具在元件表面高速旋動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過(guò)程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實(shí)現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
基于工業(yè)機(jī)器人的小工具加工機(jī)床，利用小工具在元件表面高速旋動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)平面、球面及非球面元件面形快速收斂。
利用自主研發(fā)的基于力控傳感器的柔性拋光頭，確保拋光過(guò)程中材料去除函數(shù)穩(wěn)定可控，從而實(shí)現(xiàn)超精密元件表面的高精度加工，配合全鏈路工藝、軟件，實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件從研磨到精密拋光的全鏈路加工。
優(yōu)勢(shì)
1、基于工業(yè)機(jī)器人專(zhuān)用控制系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)高精度表面成型。
2、基于力控傳感器的柔性拋光頭設(shè)計(jì)，精確控制加工過(guò)程去除函數(shù)。
3、根據(jù)加工要求，開(kāi)放式全鏈路加工工藝軟件開(kāi)發(fā)。
4、根據(jù)客戶(hù)要求定制開(kāi)發(fā)
主要技術(shù)指標(biāo)
| 項(xiàng)目 | 參數(shù)指標(biāo) |
| 可加工元件材料 | 熔石英、K9、微晶等光學(xué)元件；合金鋁等金屬元件 |
| 可加工元件最大尺寸 | ≥φ1000mm |
| 拋光工具轉(zhuǎn)速 | 50-800RPM |
| 力傳感器量程 | Fx/Fy：100N; Fz：200N |
| 力傳感器精度 | 非線性和滯后優(yōu)于0.5%，串?dāng)_優(yōu)于2% |
| 力傳感器分辨率 | Fx/Fy：0.09N; Fz：0.33N |
| 工具軸運(yùn)動(dòng)范圍 | 1：±180° 2：-90°至+150° 3：-180°至+75° 4：-400°至+400° 5：-125°至+120° 6：-400°至+400° |
| 工具軸最大運(yùn)動(dòng)速度 | 1-6軸均為175°/s |
| 重復(fù)定位精度 | 0.06mm |
| 面積需求 | 3.5m×3.5m×3m |
| 技術(shù)要求 | 22+2℃ 加工曲率半徑:+50~±omm 重復(fù)定位精度:≤0.05mm，重復(fù)路徑精度:≤0.15mm 負(fù)載能力不小于200kg 拋光頭指標(biāo):舉報(bào)精密力控功能，可實(shí)現(xiàn)1N-300N范圍。精確的力位補(bǔ)償，壓力設(shè)置精度≤1N |
| 濕度要求 | 40%-80% RH |
